走査型トンネル顕微鏡(STM)
探針と試料間に流れるトンネル電流を利用して表面構造を原子レベルで観測可能な顕微鏡。試料作製用のイオンガン、蒸着源、加熱機構と逆格子パターンを観測する低速電子線回折(LEED)を備える。
原子間力顕微鏡(AFM)
探針と試料間に作用する原子間力を検出して、試料表面の形状を画像化する装置。原子レベルのステップを検出することが可能。コンタクトモード、水平力顕微鏡(LFM)、ダイナミックモード(タッピング)、位相モード、フォースカーブの測定が可能。
AFM装置本体
表面形状像
Ge表面のステップテラス構造
熱放射光学顕微鏡(Rad-OM)
1000℃、ガス雰囲気における熱放射光コントラストのイメージングによりグラフェンの結晶成長をその場観察する装置。表面清浄化に用いるイオンガン、ラマン散乱分光ユニットも備える。
反射高速電子線回折(RHEED)
数kVから数十kVの電子線を試料表面に浅い角度で入射すると、そのほとんどが前方散乱し表面構造に応じた回折像を観察することができます。浅い入射角からの測定が行えるので、蒸着装置などと同時に使用して成膜状況をリアルタイムにモニターすることもできます。
ガスクロマトグラフ装置(バリア放電イオン化検出器)
顕微ラマン分光装置
材料のラマン振動分光の評価が可能。励起波長は532nm。
四重極質量ガス分析装置
ポテンショスタット装置
電気抵抗測定装置
室温以下の電気抵抗測定（4端子法）が手軽に行える。小型無冷媒冷凍機により10 K程度までの冷却が可能。
µSR測定用分光器（J-PARC D1）
ミュオンスピン緩和測定に用いる。0.1Kまでの極低温での実験が可能であり、スピン、超伝導、水素などの局所状態を調べる。
