熱CVD
抵抗加熱炉：アサヒ理化
MFC：フジキン
赤外線加熱CVD
ゴールドイメージ炉：ULVAC
MFC：Alicat
真空蒸着装置
真空デバイス (VE-2030)
高真空スパッター・
ドーピング装置
アールデック
ソフトプラズマ
エッチング装置
メイワフォーシス (SEDE-GE)
四重極質量ガス分析装置
自作, アールデック製など計4台
ガスクロマトグラフ装置
(バリア放電イオン化検出器)
SHIMAZU (GC-2030), マニュアルガスサンプラー(MGS-2030)付
ガスクロマトグラフ装置
(熱伝導度型検出器)
SHIMAZU (GC-2014AT), マニュアルガスサンプラー付
フーリエ変換赤外分光光度計
日本分光 (FT/IR-4XST), ATRフローセル付
顕微ラマン分光装置
Thermo Fisher Scientific (DXR-Raman Microscope), 532nm
顕微ラマン分光装置
Renishow (inViaQontor‐GY), 532nm, Raman mapping(LiveTrack)
超高真空走査型
トンネル顕微鏡(UHV-STM)
JEOL, イオンガン、蒸着源、加熱機構、低速電子線回折(LEED)付
電気化学走査型
トンネル顕微鏡(EC-STM)
Agilent (5500)
電気化学評価装置
明電北斗 (HZ-7000(HAG1232mP)), BAS (ALSモデル7081A), BAS (RRDE-3A 回転リングディスク電極装置) など計5台