試料作成
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- クリーンルーム
- 私服で出入りしてクリーン度が落ちても、1時間の運転でクラス10以上のクリーン度に達するスペックを持つ優れもの。
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- HEXシステム(成膜装置)
- 用途成膜装置。ユニットの交換により、マグネトロンスパッタ、電子ビーム蒸着、抵抗加熱蒸着などが可能。
最大3ユニットを同時装着できるので、多元スパッタ等も可能。
試料回転、試料加熱、バイアス電圧をかけられる。
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- 小型ECRイオンシャワー装置
- イオンビームによるエッチングとイオンビームスパッタが可能。
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- 卓上型マスクレス露光装置
- 線幅600nmまでの描画が可能。ベクトル描画により曲線がきれいに書ける。
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- 各種電気炉
- 箱型電気炉(1000℃), シリコニット炉(1500℃),ガスフロー炉(900℃)で焼成可能。
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- 他グループから借りられる装置
- ·FZ炉
- ·赤外加熱炉
物性測定装置
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- ヘリウムフリー超伝動磁石(8T)
- 最低温度2K。スパーシムを装着しており、磁場均一度を10-7まであげられる。
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- 核磁気共鳴装置(NMR)
- 測定範囲は1M-800MHz
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- 核磁気共鳴装置(NMR)
- 測定範囲は1M-800MHz
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- NMR送受信器・RFアンプ
- 送受信器は2kHz-125MHz,アンプは-125MHz対応。
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- RFアンプ
- それぞれ40k-3MHz, 200-400MHzの帯域をカバーする。
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- 各種ハンドメイドNMRプローブ
- 高周波プローブ、回転プローブ、スピニングプローブ等。
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- 超伝導磁石(9T)、JEOL核磁気共鳴装置
- 高分解能NMR装置。磁場均一度を10-10まであげられる。MAS NMRも可能。
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- オシロスコープ
- 帯域:4GHz,サンプリング速度(4ch/2ch)20/40 GS/s
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- ネットワークアナライザー
- 帯域:100KHz-14GHz
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- シグナルアナライザー
- 帯域:3GHz
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- シグナルアナライザー
- 帯域:26.5GHz
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- ESR測定装置
- スピンポンピング測定や1.2T電磁石としてNMR測定でも使用。
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- 電磁石
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- 磁気シールドルーム
- 電磁シールド性能30MHz-3GHz:40dB減衰。地磁気を数100nTまで減衰させる。
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- Barnett効果測定装置
- 二重の磁気シールドボックス内に入れ磁気シールドルームに設置されている。地磁気を数nT程度まで抑えた環境で測定している。
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- 温度可変Barnett効果測定装置
- 100Kから室温までバーネット効果の温度依存性が測定できる世界唯一の装置。
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- Einstein-de Haas効果測定装置
- 電磁石、暗室、レーザーから構成されている。
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- プローバー
- 液体窒素冷却式で80Kから室温までの測定が可能。
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- その他測定機器
- マルチメーター、ソースメーター、ナノボルトメーター、温度コントローラー(Cryocon, Lake Shore)、3軸磁気センサー、
加速度計など
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- 他グループから借りられる装置
- ·物性測定装置PPMS
(電気抵抗、磁化測定、トルク測定)
- ·XRD
その他
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- 顕微鏡一体型マニピュレータ
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- ヘリウムリークディテクタ
- プローブのリークチェックなどに使用。
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- 電動工作機械
- 3Dプリンター、基板用CNCフライス、5軸CNCフライス。そのほかにも小型フライス、小型ボール盤、ダイヤモンドカッターがあり、
小型の工作物が作れる。
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- 研磨機・精密切断機
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- 計算機
- MPI/OpenMPハイブリッド並列計算を実行可能な並列計算機クラスター
