スピン−エネルギー科学研究グループ

〒319-1195 茨城県那珂郡大字白方2番地4 日本原子力研究開発機構 先端基礎研究センター

実験装置紹介

    

試料作成


クリーンルーム

私服で出入りしてクリーン度が落ちても、1時間の運転でクラス10以上のクリーン度に達するスペックを持つ優れもの。

HEXシステム(成膜装置)

多用途成膜装置。ユニットの交換により、マグネトロンスパッタ、電子ビーム蒸着、抵抗加熱蒸着などが可能。 最大3ユニットを同時装着できるので、多元スパッタ等も可能。 試料回転、試料加熱、バイアス電圧をかけられる。

小型ECRイオンシャワー装置

イオンビームによるエッチングとイオンビームスパッタが可能。

卓上型マスクレス露光装置

線幅600nmまでの描画が可能。ベクトル描画により曲線がきれいに書ける。

各種電気炉

箱型電気炉(1000℃), シリコニット炉(1500℃),ガスフロー炉(900℃)で焼成可能。

他グループから借りられる装置

・FZ炉
・赤外加熱炉
 
物性測定装置

ヘリウムフリー超伝動磁石(8T)

最低温度2K。 スパーシムを装着しており、磁場均一度を10-7まであげられる。

核磁気共鳴装置(NMR)

測定範囲は1M-800MHz

核磁気共鳴装置(NMR)

測定範囲は1M-800MHz

NMR送受信器・RFアンプ

送受信器は2kHz-125MHz,アンプは-125MHz対応。

RFアンプ

それぞれ40k-3MHz, 200-400MHzの帯域をカバーする。

各種ハンドメイドNMRプローブ

高周波プローブ, 回転プローブ, スピニングプローブ等。

超伝導磁石(9T)、JEOL核磁気共鳴装置

高分解能NMR装置。磁場均一度を10-10まであげられる。
MAS NMRも可能。

オシロスコープ

帯域:4GHz,サンプリング速度(4ch/2ch)20/40 GS/s

ネットワークアナライザー

帯域:100KHz-14GHz

シグナルアナライザー

帯域:3GHz

シグナルアナライザー

帯域:26.5GHz

ESR測定装置

スピンポンピング測定や1.2T電磁石としてNMR測定でも使用。

電磁石


磁気シールドルーム

電磁シールド性能30MHz-3GHz:40dB減衰。地磁気を数100nTまで減衰させる。

Barnett効果測定装置[詳細論文へ]

二重の磁気シールドボックス内に入れ磁気シールドルームに設置されている。地磁気を数nT程度まで抑えた環境で測定している。

温度可変Barnett効果測定装置[詳細論文へ]

100Kから室温までバーネット効果の温度依存性が測定できる世界唯一の装置。

Einstein–de Haas効果測定装置

電磁石,暗室,レーザーから構成されている。

プローバー

液体窒素冷却式で80Kから室温までの測定が可能。
      

その他測定機器

マルチメーター、ソースメーター、ナノボルトメーター、温度コントローラー(Cryocon,Lake Shore),3軸磁気センサー, 加速度計など

他グループから借りられる装置

・物性測定装置PPMS
(電気抵抗,磁化測定,トルク測定)
・XRD
 
その他

顕微鏡一体型マニピュレータ


ヘリウムリークディテクタ

プローブのリークチェックなどに使用。

電動工作機械

3Dプリンター,基板用CNCフライス,5軸CNCフライス。そのほかにも小型フライス,小型ボール盤、ダイヤモンドカッターがあり、 小型の工作物が作れる。

研磨機・精密切断機